簡要描述:位移傳感器外徑/內(nèi)徑資料型號SI-F01SI-F10SI-F80類型微型傳感頭型 傳感頭長距離型 傳感頭厚度測量型 傳感頭測量范圍0.05 至 1.1 mm *111.3 至 12.35 mm *10.05 至 1.1 mm *6(可實(shí)現(xiàn)的檢測距離: 80 至 81.1 mm)測量用光源紅外 SLD 波長 820 nm 輸出 0.6 mW, 1
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位移傳感器外徑/內(nèi)徑資料
這些傳感器測量圓柱體的外徑。雖然此處用以參考的測量為單軸,但可進(jìn)行雙軸或更多軸的測量。
測量內(nèi)徑有兩種方法:光透式測量儀器和接觸式測量儀器。
1D光透法
LS系列
此方法測量目標(biāo)物的外徑。超高速采樣使其還可以測量外徑和偏轉(zhuǎn)。
超高速/高精度測微計(jì)
LS-9000系列
2D光透法
TM系列
本系列可測量目標(biāo)物的內(nèi)徑。
由于像投影機(jī)一樣采集物體圖像,因此可實(shí)現(xiàn)多軸測量和真圓度測量。
TM-3000系列
位移傳感器外徑/內(nèi)徑資料
型號 | SI-F1003V | SI-FA103 | |||
獨(dú)立型 | SI-F1003/SI-FD500 | ||||
類型 | 主控制器一體型 | 擴(kuò)展控制器*3 | |||
可連接的光譜單元數(shù) | 2 | 1 | |||
顯示 | zui小顯示單位 | 0.001 µm | 無 | ||
顯示范圍 | ±999.999 µm 至 ±9,999.99 mm,(可選 7 種設(shè)定) | ||||
顯示周期 | 10 次/秒 | ||||
端子臺 | 激光遠(yuǎn)程聯(lián)鎖輸入 | 無電壓輸入*1 | 無*1 | ||
定時 1 輸入 | 無電壓輸入 2*1 | ||||
復(fù)位 1 輸入 | 無電壓輸入*1 | ||||
自動調(diào)零1 輸入 | |||||
激光控制輸入 | |||||
模擬電壓輸出 | ±10 V x 2 輸入,輸出阻抗: 100 ?*1 | ±10 V x 1 輸入,輸出阻抗: 100 ?*1 | |||
模擬電流輸出 | 4 至 20 mA x 2 輸出,zui大負(fù)載阻抗: 350 ?*1 | 4 至 20 mA x 1 輸出,zui大負(fù)載阻抗: 350 ?*1 | |||
警報(bào)輸出 | NPN 開集輸出(N.C.)*1 | 無*1 |
分光干涉式晶片厚度計(jì)SI-F80R 系列采用近紅外 SLD,即使已貼附 BG 帶也可測量晶片本身的厚度。即使晶片表面存在由于圖案而產(chǎn)生的顯著差異,也可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的線上測量。
分光干涉式晶片厚度計(jì)SI-F80R 系列采用近紅外 SLD,即使已貼附 BG 帶也可測量晶片本身的厚度。即使晶片表面存在由于圖案而產(chǎn)生的顯著差異,也可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的線上測量。