日本SMC鋁制高真空L型閥詳細(xì)說(shuō)明
流體
工作溫度
電導(dǎo)
運(yùn)營(yíng)壓力
輪緣
主閥：常閉
O形密封圈
注2）電磁閥
閥門(mén)類(lèi)型
軸封類(lèi)型
閥門(mén)類(lèi)型

流體操作
溫度（℃）輪緣
雙重行動(dòng)
操作壓力范圍
大氣壓力為1×10-5 Pa
惰性氣體在真空下
5至60°C（可選：5至150°C）
0.4至0.7MPaKF160
zui大800 l / s 31.5升/秒
注1）選件規(guī)格/組合
這個(gè)型號(hào)有指示器，
自動(dòng)開(kāi)關(guān)和K（DN）法蘭選項(xiàng)
但是高溫/加熱器選項(xiàng)不可用。
O形密封圈
大氣壓力為1×10-5 Pa
惰性氣體在真空下
1.3×10-9Pa·m3 / s以下*
1.3×10-9Pa·m3 / s以下*
5至60°C（可選：5至150°C）
0.4至0.6MPaKF100
操作壓力（Pa）

日本SMC鋁制高真空L型閥詳細(xì)說(shuō)明
電導(dǎo)（l / s）注1）
法蘭式主要材料
表面處理導(dǎo)壓力（MPa）
試點(diǎn)港口的大小（kg）
型號(hào)XLA（V）-16 XLA（V）-25 XLA（V）-40
常閉（加壓打開(kāi)，彈簧密封）
惰性氣體在真空下
5?60（高溫型：5?150）5至50
使用熱敏電阻進(jìn)行簡(jiǎn)單加熱。 閥體可以
根據(jù)加熱器加熱到大約100或120°C
磁鐵激活自動(dòng)開(kāi)關(guān)。 用2個(gè)自動(dòng)開(kāi)關(guān)，打開(kāi)
并關(guān)閉位置被檢測(cè)到，并與1自動(dòng)開(kāi)關(guān)，無(wú)論是
打開(kāi)或關(guān)閉的位置被檢測(cè)到。 自動(dòng)開(kāi)關(guān)適用于
只有普通的溫度（5至60°C）。
選項(xiàng)和閥門(mén)尺寸。 熱敏電阻的類(lèi)型和數(shù)量
使用將取決于大小和設(shè)置溫度。 在里面
高溫規(guī)格的情況下，閥蓋組件是一個(gè)
耐熱結(jié)構(gòu)。 這不適用于電磁鐵的情況閥門(mén)連接。
大氣壓力為1×10-6
注1）常溫下的值，不包括氣體滲透。
注2）請(qǐng)參閱22頁(yè)的“結(jié)構(gòu)”的零件編號(hào)了解更改的零件。
數(shù)字表示相應(yīng)的“施工”的零件編號(hào)。
注3）尺寸16和25的e部分（外部密封）不可更改。
在標(biāo)準(zhǔn)材料FKM的情況下：在常溫下為1.3×10-10，不包括氣體滲透
標(biāo)準(zhǔn)材料FKM：常溫下為1.3×10-11，不包括氣體滲透
本體：鋁合金，波紋管：不銹鋼316L，主要部分：不銹鋼，F(xiàn)KM（標(biāo)準(zhǔn)密封材料）
外部：陽(yáng)氧化內(nèi)部：原材料
XLAV-16,25,40,50：SYJ319，XLAV-63,80：SYJ519
注1）常溫下的值，不包括氣體滲透。
注2）請(qǐng)參閱14頁(yè)的“結(jié)構(gòu)”的零件編號(hào)了解更改的零件。
數(shù)字表示相應(yīng)的“施工”的零件編號(hào)
自動(dòng)開(kāi)關(guān)不適用于高溫規(guī)格
（溫度規(guī)格H0，H2，H3）。 標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)線長(zhǎng)度為0.5米。
當(dāng)需要3米時(shí)在零件編號(hào)的末尾添加“L”，1米時(shí)為“M”5米時(shí)為“Z”。